激光烧结纳米ZnO气敏传感器制备及其气敏特性研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangzhubin
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以激光-感应复合加热法制备的纳米ZnO为原料,用激光烧结法制成的气敏传感元件,对乙醇、丙酮等五种挥发性有机化合物的敏感性进行了测定,同时又对所制成的传感元件作了SEM分析.实验表明,采用激光烧结的纳米ZnO较之电炉烧结的敏感度高,孔洞细小、孔隙率增多;且随着激光加工功率的提高,达到最大敏感度的温度却有所降低.
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