【摘 要】
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本文对用于工程的电容式纳米级位移传感器的漂移和示值非线性特性等问题进行了理论和实验研究，在此基础上提出了“系统补偿方法”，并研制了“系统补偿环节”。实验结果表明：经系
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本文对用于工程的电容式纳米级位移传感器的漂移和示值非线性特性等问题进行了理论和实验研究，在此基础上提出了“系统补偿方法”，并研制了“系统补偿环节”。实验结果表明：经系统补偿后传感器分辩率为１ｎｍ，非线性误差小于０．２％，定位角漂移小于±５×１０（－７）ｒａｄ／０．５ｈ，示值漂移量小于±５ｎｍ／２０ｍｉｎ。
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