世上最贵的精密仪器ASMLEUV无尘车间

来源 :起重运输机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:MD_XC
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
荷兰ASML公司拥有世界上最好的芯片制造的核心设备——EUV极紫外光刻。在芯片加工过程部分环节的生产环境:车间入场需全副“武装”:整套入场服包含:头罩、无尘服、袜子、鞋子、口罩以及手套。人是无尘车间最大的污染源,每天代谢脱落10亿个皮肤微粒,都会对机器产生影响,必须穿入场服隔离。无尘车间内的空气要比外面干净10倍。
其他文献
公路行业体制改革在经过剥离、分流等一系列外科手术式的局部改革之后,目前已进入整体攻坚阶段。湖北当阳市公路段引入竞争机制,推动养护生产入“市”,打破了养护生产在计划
在民航局发布的《2017年民航机场生产统计公报》中有一个航机场吞吐量排名表,上面显示着旅客吞吐量以及货邮吞吐量排名,其中排名前25的机场,都有卢风禄和他们团队完成的项目
在国际竞争的日益激烈,国家越来越重视国民身体素质的提高。因此,在深化教学改革、大力倡导素质教育的大背景下,体育运动越来越受到重视,高校体育部开展网球运动作为提高学生
随着港口装卸系统的广泛应用,电子皮带秤是解决散货计量的重要手段.尽管电子皮带秤计量精度不能达到贸易计量的要求,但可广泛应用于港口散货装卸系统内部管理计量.而在大型装
为研究剪切式上架在自动化码头岸边集装箱起重机上的应用问题,通过介绍剪切式上架的机械原理和智能关键技术,以青岛新前湾集装箱码头的起重机为例,进行实例应用。实践证明,剪
12条自动化生产线、100多台工业机器人、16套数控加工中心,平均每10min产出1节标准节,每90min生产一条起重臂,每110min下线一台塔机。最近,投资7.8亿元的全球最大塔机智能工
“行车难、停车难”,几乎成了大城市的一大顽症。如何解决城市道路停车难题,请看智能咪表亮绝招。
介绍了起重机智能制造技术发展现状,对起重机智能制造系统的内涵和特征进行了分析,通过顶层设计建立了基于MBD模型的起重机智能设计协同、起重机智能加工与装配协同、基于CPS
车辆照明故障问题是造成卡车和拖车频繁修理的重要原因,这类问题主要是由于腐蚀造成的.当你发现线路腐蚀时已经太晚了,要防止这种经常造成停工的问题发生,唯一的方法就是购买