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设计了一种独特的源极结构,运用双层辉光渗金属技术在20钢表面实现了Ti,C二元同时共渗并获得表面渗镀层.对渗镀层进行了微观组织、形貌、成分、物相和硬度的检测与分析.分析结果表明:渗镀层厚约21μm,表面呈颗粒状分布,主要由TiC陶瓷相构成,其结构致密,与基体结合良好,结合力为42N;源极钛靶与工件的极间距对渗镀层厚度及表面硬度值的影响较大,极间距在12~16mm时渗镀效果佳,该条件下所形成的渗镀层表面硬度较基体提高了10倍以上.