GaAs波导型光开关列阵的研究

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<正> 本项目从各种光开关单元的研究入手,综合单元器件的性能、制造工艺、所需材料等项指标,反复比较决定所用光开关单元的形式。根据实验室的条件对器件的制作工艺进行了研究,完成了GaAsl×4光开关列阵研究工作。研究内容和研究成果 1.顺利完成光开关单元器件研究。作为高速光开关单元器件,必须具有较高的消光比,较高的开关速率和较低的开关电压,同时制作工艺要简单,能与半导体平面工艺技术相容等项要求。申请者长期与东京大学合作从事定向耦合器型光开关/光调制器的研究,并完成了GaAs对称耦合(BO
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