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本文对半导体氧化物气体敏感材料的电导振荡特性加以研究分析，通过试验与理论分析得出气敏电导振荡的必要条件，并对电导振荡型气体敏感元件的原理、工艺技术和结构等进行分析说明。同时，对半导体氧化物气体敏感材料的常温气体敏感特性进行归纳总结，指出其优缺点和需要解决的问题。
半导体氧化物气敏材料的电导振荡特性研究
【摘 要】
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本文对半导体氧化物气体敏感材料的电导振荡特性加以研究分析，通过试验与理论分析得出气敏电导振荡的必要条件，并对电导振荡型气体敏感元件的原理、工艺技术和结构等进行分析说
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2004年期
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