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为研究微梁非线性振动的尺度效应,采用前后扫频方式,针对不同厚度微尺度金属镍悬臂梁开展了主共振与超谐波共振实验研究,获得了各阶共振幅频特性曲线.建立了考虑几何大变形和非线性惯性效应的修正的偶应力Euler-Bernoulli悬臂梁模型,采用多尺度法中的多维Lindstedt-Poincaré法(多维L-P法)求解理论模型获得了各阶幅频响应方程,并分析了材料尺度常数、阻尼和激励力对系统的影响.通过理论结果与实验结果的对比,验证了微梁非线性振动的尺度效应.实验结果表明,微梁的主共振具有显著的软化特性,微梁的次共振中第二阶、第三阶、第四阶、第五阶和第六阶振动发生超谐波共振.