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本文简述了气体过滤机理,并提供了有关收集效率和目前在半导体加工中通常使用的几种气体过滤介质的清洁度的数据。
高纯气体过滤
【摘 要】
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本文简述了气体过滤机理,并提供了有关收集效率和目前在半导体加工中通常使用的几种气体过滤介质的清洁度的数据。
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1991年3期
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