【摘 要】
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水导激光加工技术具有热效应小、精度高、无刀具损坏等优点，被应用到高精度元件的加工中。为减小激光聚焦光斑直径以利于激光与水射流的精确耦合、提高激光孔的质量，提出了基于双缝干涉原理以减小激光聚焦光斑直径的方法。构建了传统水导激光和双缝干涉水导激光打孔的几何模型和数学模型；基于COMSOL分别进行仿真，对比和分析了在激光束参数、加工条件均相同的条件下，传统水导激光和双缝干涉水导激光打孔时对激光孔轮廓的演
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（51975426）； 武汉市科技计划项目（2019010701011393）资助项目；
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水导激光加工技术具有热效应小、精度高、无刀具损坏等优点，被应用到高精度元件的加工中。为减小激光聚焦光斑直径以利于激光与水射流的精确耦合、提高激光孔的质量，提出了基于双缝干涉原理以减小激光聚焦光斑直径的方法。构建了传统水导激光和双缝干涉水导激光打孔的几何模型和数学模型；基于COMSOL分别进行仿真，对比和分析了在激光束参数、加工条件均相同的条件下，传统水导激光和双缝干涉水导激光打孔时对激光孔轮廓的演化、热影响区域分布和重铸层大小的影响。结果表明：与传统水导激光相比，采用双缝干涉水导激光加工技术能有效地减小激光孔直径、锥角、热影响区域宽度和重铸层大小，在现有条件下进一步减小激光聚焦光斑直径。
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