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在平面等厚干涉仪上检定平晶工作面平面度时,需要在被检区域调整出3到5条干涉条纹,依据测量原理和计算公式求出被检平晶工作面的平面度。文章重点分析干涉条纹的快速调整方法与标准平晶平面度的正确引用方法。
平晶检定时干涉条纹的快速调整方法与平面度计算
【摘 要】
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在平面等厚干涉仪上检定平晶工作面平面度时,需要在被检区域调整出3到5条干涉条纹,依据测量原理和计算公式求出被检平晶工作面的平面度。文章重点分析干涉条纹的快速调整方法
【机 构】
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青岛市计量测试所,青岛市水利勘测设计院有限公司
【出 处】
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工业计量
【发表日期】
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2007年05期
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