切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
激光诱导硅表面化学反应形成Ni-SiO2-Si的准MOS结构膜
激光诱导硅表面化学反应形成Ni-SiO2-Si的准MOS结构膜
来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxjscsd
【摘 要】
:
本文报道用激光诱导表面化学反应沉积金属膜的一种新实验结果。用OWCO02激光诱导硅片表面的Ni2O3与硅片衬底反应沉积镍膜,一步形成Ni-SiO2-Si的准MOS结构。用多种表面分析方法对膜层的成份,性能进行测试分析,并讨论了膜的生长机制。
【作 者】
:
陆雪标
张杰
潘世民
邱明新
邹惠良
【机 构】
:
上海市激光技术研究所上海测试技术研究所
【出 处】
:
中国激光
【发表日期】
:
1990年17期
【关键词】
:
表面化学
准MOS结构
surface chemistry
quasi MOS-structuro
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文报道用激光诱导表面化学反应沉积金属膜的一种新实验结果。用OWCO02激光诱导硅片表面的Ni2O3与硅片衬底反应沉积镍膜,一步形成Ni-SiO2-Si的准MOS结构。用多种表面分析方法对膜层的成份,性能进行测试分析,并讨论了膜的生长机制。
其他文献
808 nm laser triggered self-monitored photo-thermal therapeutic nano-system Y2O3: Nd3 /Yb3 /Er3 @SiO
A multifunctional photo-thermal therapeutic nano-platform
期刊
黑曲霉产纤维素酶菌种的激光选育
报道了以黑曲霉为出发菌株.采用铜蒸气激光诱变处理.筛选纤维素酶高产菌株.获得了4株高产的突变菌株,用稻草麸皮固体培养基,28 ℃发酵培养4天.每克湿曲的最高酶活:CMC酶活(Cx)为2839 mg葡萄糖/g·h、滤纸酶活(CL)为299 mg葡萄糖/g·h,β-葡萄糖苷酶活为1091 mg葡萄糖/g·h。并且对突变株N0.8号菌株的菌落形态、生长发育及发酵周期等变异性状、纤维素酶高产性状的稳定性等方面都进行了深入的测试和分析对比。从试验结果表明,激光诱变技术方便实用,效果明显,是一种新的微生物诱变育种的理
期刊
激光诱变
纤维素酶
黑曲霉
laser mutagenesis
cellulases
aspergillus niger
LD泵浦固体激光器的光谱匹配问题
实验研究了LD泵浦Nd:YAG固体激光器的光谱匹配问题,如匹配方法、匹配效率、匹配chirp现象等:考察了LD光谱随温度、电流、时间的变化,讨论了这些变化对光谱匹配效率的影响。
期刊
LD泵浦
固体激光
光谱匹配
diode laser pumping
solid state laser
spectral matching
1
We demonstrate a Fe:ZnSe laser gain-switched by a ZnGeP
2
optical parametric oscillator (OPO) under the pulse repetition frequency of 1 kHz at room temperature. The 2.9 μm signal light of the OPO is employed as the pump for the Fe:ZnSe laser. Th
期刊
140.3070
140.3295
横向激励气压调谐波导CO2激光器
期刊
基于电光调制的注入锁定拉曼激光相位噪声实验研究
利用光学注入锁定制备的拉曼激光可以用于原子干涉仪。为解决原子干涉条纹的相位受相位噪声的极大影响的问题,研究了不同实验条件下的拉曼激光相位噪声。采用光纤电光调制(EOM)和注入锁定相结合的方法得到两束频差为6.834 GHz的相位锁定拉曼激光,将主激光通过光纤EOM移频 6.834 GHz后作为种子光注入到从外腔半导体激光器,调节从激光器,获得-1级移频光的初步放大激光。结果显示,拉曼激光的拍频线宽不大于3 Hz,频率可调范围为300 MHz,主激光锁频下相位噪声在10 Hz~100 kHz范围内低于-60
期刊
激光器
电光调制
外腔半导体激光器
注入锁定
拉曼激光
相位噪声
lasers
electro-optic modulation
external cavity
新型磁性材料辅助光学抛光技术的研究
提出了一种新型的磁介质辅助抛光技术,用于高精度光学表面的数控抛光。在强磁场的作用下,磁介质吸附在磁轮上并沿着磁力线方向排列起来,形成环状凸起 “磁性抛光刷”。磁轮高速旋转时,循环注入抛光液,对工件表面实现材料去除。完成了磁介质辅助抛光工具设计、制造,以及与数控机床的组装调试。采用K9玻璃工件进行了工艺实验,获得了去除函数分布及表面粗糙度。
期刊
光学制造
磁介质辅助抛光
去除函数
optical fabrication
magnetic-medium assistant polishing
remova
芯片上的光缓冲器
期刊
室温下ZnS干涉滤光片的快速开关
本文中以连续Ar 激光作为维持光,以脉冲Nd:YAG倍频激光作为触发光,用CW P的方法在室温下实现了ZnS干涉滤光片的快速开关。开启时间为300ns。在理论上分析了实现快速开关的条件。
期刊
光学双稳
光开关
瞬态行为
optical bistability
optical switching
transient behaviour
离子镀金膜的研制
期刊
与本文相关的学术论文