【摘 要】
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二氧化钒薄膜独特的半导体-金属相变特性使其在智能窗等领域有着广阔的应用前景.该研究采用直流反应共溅射技术沉积二氧化钒薄膜,通过调节Ti靶的放电电流,实现了VO2薄膜不同量的Ti掺杂.并用X射线衍射仪、微区拉曼光谱仪、扫描电子显微镜、分光光度计与四探针测量系统对样品微结构及相变特性进行表征,分析不同Ti掺杂量对VO2薄膜微结构、表面形貌、相变温度、红外调制率的影响.研究结果表明,在Ti靶15mA放电电流下掺杂的样品,太阳能调制能力有明显提高,达13.8％,但是过高的Ti掺杂则会使VO2薄膜相变性能弱化甚至消
【机 构】
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深圳大学物理与光电工程学院,深圳市先进薄膜与应用重点实验室,广东深圳518060
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二氧化钒薄膜独特的半导体-金属相变特性使其在智能窗等领域有着广阔的应用前景.该研究采用直流反应共溅射技术沉积二氧化钒薄膜,通过调节Ti靶的放电电流,实现了VO2薄膜不同量的Ti掺杂.并用X射线衍射仪、微区拉曼光谱仪、扫描电子显微镜、分光光度计与四探针测量系统对样品微结构及相变特性进行表征,分析不同Ti掺杂量对VO2薄膜微结构、表面形貌、相变温度、红外调制率的影响.研究结果表明,在Ti靶15mA放电电流下掺杂的样品,太阳能调制能力有明显提高,达13.8％,但是过高的Ti掺杂则会使VO2薄膜相变性能弱化甚至消失.
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