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R-C系统遮光罩的最优化设计
R-C系统遮光罩的最优化设计
来源 :光学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abchkiesh
【摘 要】
:
在作图方法的基础上,推导出R-C系统遮光罩尺寸和口径的约束条件,利用最优化方法得到 R-C系统遮光罩尺寸和口径的数值解。 克服了传统作图方法不足,能够和系统的光学设计 同时进
【作 者】
:
宋宁
殷宗敏
【机 构】
:
上海交通大学
【出 处】
:
光学技术
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
R-C系统
遮光罩
最优设计
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在作图方法的基础上,推导出R-C系统遮光罩尺寸和口径的约束条件,利用最优化方法得到 R-C系统遮光罩尺寸和口径的数值解。 克服了传统作图方法不足,能够和系统的光学设计 同时进行,有助于获得系统的最优结构。
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