TiN膜吸附机理及工艺的研究

来源 :合肥工业大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:tomzhang155
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
探讨了TiN膜的吸附机理、吸附条件以及空余键力在真空镀镀膜中的应用。介绍了TiN膜的特性,制备及应用前景,包括在加硬膜、耐蚀膜、装饰膜、阻挡膜及光学膜等方面的应用。
其他文献
发泄是人对内在心理和生理能量进行疏导和排遣的一种有效的方法,能使人的不满情绪、心中的积郁得到疏散。
植树节来到了,幼儿园开展“家园植树活动”,幼儿和爸爸妈妈一起在幼儿园植树。植完树以后的几天,孩子们经常去看自家栽的树发芽了没有。有一天,文文发现柳树发出了小嫩芽,他异常兴
本文设计了一种利用多种传感器采集室外温度、湿度、光照强度以及PM2.5,并利用单片机对采集到的信息进行分析、处理,同时控制伺服电机来实现窗户和窗帘自动开和关的智能化窗
记得《物理通报》筹备出版之时我正在河北大学物理系进修,补修文化大革命中落下的课程,亲眼目睹了物理系诸前辈严谨的作风,执着的追求,为科学而献身的精神,他们奔走呼号终于确立了
网络工作日志系统是在传统工作日志功能基础上,以信息化平台为载体.形成模块化的日志登录、传递、发布、反馈和评价以及集成等为一体的内部行政效能管理平台。本文分析了网络工
文章论述了利用红外光谱差谱技术对二组分混合物进行一次差谱和对三组分混合物进行二次差谱,均得到满意的单一组分红外光谱图,红外光谱差谱技术在定性分析中省去了繁琐的分离步
回转水纺丝法是一种制备圆形截面光滑连续细丝的新技术。喷射速度是重要工艺参数之一。对Fe-Si-B合金,当喷射速度过小时,只能得到缩颈状丝或粉丝颗粒。当喷射速度与水层速度之比Vj/V10大于1.19时
本文叙述了以STD PC/XT机为核心构成的数控磨齿机系统的结构、软件设计和特点;系统采用混合语言编程,极大地提高了软件设计的灵活生和快速性。文中还分析了CNC系统的加工方法,并给出我轴伺
文章首先讨论了β-分布的变换.以说明它应用的广泛性;其次为了概率计算的目的,介绍如何用不完全β-函数作具体计算。
公鹿的越冬期是指配种恢复期和生茸前期这2个阶段,即从上年11月下旬至次年3月末的这段时间;尤其从12月初开始至次年2月末的这90天内的饲养管理尤为重要.
期刊