【摘 要】
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基于q Plus探针的原子力显微镜有更高的空间分辨率,但其工作原理有别于传统的悬臂梁探针,结构也更加复杂,其探针尖端机械振动的振幅和方向是影响实验结果的核心问题。通常通
【机 构】
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,中国科学院大学
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863）（No.2015AA034601）, 国家自然科学基金资助项目（Nos.61674164,61475184）, 中国科学院科研装备仪器研制项目（No.YZ201341）
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基于q Plus探针的原子力显微镜有更高的空间分辨率,但其工作原理有别于传统的悬臂梁探针,结构也更加复杂,其探针尖端机械振动的振幅和方向是影响实验结果的核心问题。通常通过锁相放大器直接测量到的是来自音叉的压电电流,而不是针尖的机械振动本身。本文提出了一种借助扫描电子显微镜在实空间实时观测q Plus探针振动状态的方法,在实验上得到了在压电陶瓷激励下,探针尖端振动的方向和振幅等要素,针尖振幅与激励电压呈线性关系,针尖机械振动的共振频率与压电电流的共振频率一致,符合理论预期;然而实验观察到的振动方向却接近于水
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