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一种制备p型ZnO晶体薄膜的方法

来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jin_sarah

【摘 要】

：

本发明公开的制备p型氧化锌晶体薄膜的方法步骤如下：先将衬汽相沉积生长室中，生长室真空度抽到至少10^-2Pa，然后加热衬底，使衬底温度底表面清洗后放入金属有机化学为350～950℃，控制

【机 构】

：

浙江大学

【出 处】

：

表面技术

【发表日期】

：

2007年3期

【关键词】

：

晶体薄膜 P型 制备 ZnO 控制生长 金属有机化学 衬底温度 有机锌源 

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本发明公开的制备p型氧化锌晶体薄膜的方法步骤如下：先将衬汽相沉积生长室中，生长室真空度抽到至少10^-2Pa，然后加热衬底，使衬底温度底表面清洗后放入金属有机化学为350～950℃，控制生长室内部压力在10^-2-10000Pa范围里，用高纯载气将高纯有机锌源输入生长室中，同时将高纯N2O和高纯NO气体输入生长室，有机锌源、N2O和NO的摩尔流量分别为0．1—1×10^3μmol／min、

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