关于缺陷密度DO的研究

来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:beckham621
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在半导体图片制造过程中,提高成品率是我们一直追求的目标。本文从成品率失效模式入手,介绍一种评价半导体生产线的新方法:缺陷密度DO,从而对工艺水平的评价提供一个较为客观的依据。本文从DO/Yield模型的建立,基本计算公式介绍,DO/Yield模型的计算机程序开发,以及DO/Yield模型的实际应用等几个方面加以阐述。
其他文献
作为四种基本语言技能之一,写作不仅可以反映学生英语综合学习能力,而且可以帮助学生有效地内化英语知识,进一步促进其它基本语言技能的发展。因此,写作教学在高中英语教学中扮演着非常重要的角色。近年来,众多学者不断探索各种新的英语写作教学方法。然而在实际的教学过程中,高中英语写作仍存在一些问题。因此,为了改善当前的写作状况,本研究尝试将模因论运用于高中英语写作教学来提高学生的英语写作水平。模因论是一种基于
“八五”期间,内蒙古各级水行政主管部门不断深改革,使水利建设步入了新的发展阶段,各项建设取得了显著成就,文章回顾总结了“八五”期间自治区水利改革和发展的成就和经验,阐述了
目的观察全麻复合胸段硬膜外阻滞在老年病人普胸手术中对循环、应激反应及苏醒时间的影响.方法 30例ASA Ⅰ~Ⅱ级择期普胸手术老年病人,随机分为单纯全麻组(对照组)和全麻复合
黑龙江省在“八五”期间,水利建设取得了显著成就,积累了丰富的经验,同时,论述了“九五”期间水利建设的指导思想、目标任务和主要措施。“九五”期间要认真抓好以下几项工作;切实
采用浸渍法制备载铁凹凸棒土,并用其作为非均相Fenton催化剂处理模拟苯酚废水,研究该体系中各影响因素对模拟苯酚废水处理效果的影响,确定适宜反应条件,并对载铁凹凸棒土进行
本文以统计性的数据为依据,阐述了超纯水水质对器件的影响,列出亚微米CMOS线上的水质检测。围绕现代超纯水水质参数中总有机碳这一中心环节,讨论了降低该值的关键和相关问题换解决要
1991年11月至12月在某地区的一个饲养场,有140只母海狸鼠发生了艾美尔球虫病.按照方法检查了肠内容物,找出了艾美尔球虫卵囊.由此推测该病已经传染到饲养场.一、发病症状该病
目的探讨女性尿道综合症的治疗的手法方法。方法给38例女性尿道综合症的患者行“阴道折迭术加尿道口一阴道间距延长术”。结果38例患者中治愈29例,有效6例,无效3例,总有效率92.0%