论文部分内容阅读
介绍了专门应用于超精密车档在线检测加工表面微观形貌的检测系统。一种新式高分辨率同轴式激光逻辑设计仪与超精密车床的有机结合，突破了传统的必须卸下工件才能对其进行检测的限制，实现了加工与检测的一体化，达到了检测真正服务于加工的工作原理。实验结果表明，在利用超精密精密气浮导轨作为激光轮廓仪工作台的条件下，测量车削加工表面微观形貌时，在高度方向上的分辩率按国际惯用的均方值表示已倨于０．１ｎｍ。