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期刊论文
氧化钒薄膜制备与特性研究
氧化钒薄膜制备与特性研究
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huaxf
【摘 要】
:
用磁控反应溅射法制备出具有红外敏感特性的氧化钒薄膜,进行了薄膜光电特性的测试.通过AFM和XRD对薄膜的结构和特性进行分析研究,并给出了沉积参数对薄膜性能的影响.
【作 者】
:
梁耀廷
崔敬忠
达道安
刘向
李智
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2004年2期
【关键词】
:
氧化钒薄膜
薄膜性能
沉积参数
磁控反应溅射
光电特性
特性研究
XRD
膜制备
AFM
敏感
vanadium oxide thin film electri
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用磁控反应溅射法制备出具有红外敏感特性的氧化钒薄膜,进行了薄膜光电特性的测试.通过AFM和XRD对薄膜的结构和特性进行分析研究,并给出了沉积参数对薄膜性能的影响.
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