论文部分内容阅读
用于加工芯片的光刻机,气动回路设计依据消障过后的X-D状态图,绘制了系统逻辑原理图。利用FluidSIM软件,按照动作顺序,搭建气动控制回路进行运行仿真。各气缸的仿真状态图显示,所有动作符合设计要求,达到了预期效果。
基于FluidSIM的光刻机气动回路仿真分析
【摘 要】
：
用于加工芯片的光刻机,气动回路设计依据消障过后的X-D状态图,绘制了系统逻辑原理图。利用FluidSIM软件,按照动作顺序,搭建气动控制回路进行运行仿真。各气缸的仿真状态图显
【机 构】
：
吉林电子信息职业技术学院,吉林石化公司
【出 处】
：
现代制造技术与装备
【发表日期】
：
2020年6期
其他文献
采用压制工艺在实验室制备了耐张线夹。随后,通过交替浸入腐蚀液中48 h随后自然干燥48 h共计24 d使之腐蚀,腐蚀液为含0.5 mol/L NaHSO3和0.05 mol/L NaCl的去离子水溶液。采
黄杨树苗等绿化植株的自动化种植机械对我国增大绿化面积和降低工人劳动强度具有重要意义。因此,开发设计黄杨树苗自动化种植机,由行走机构、开沟机构、灌溉机构、苗木输送机
企业内部控制的最重要的方面就是对会计方面的管理和控制,通过内部控制可以有效地对会计信息质量产生深远的作用。本文通过对影响内部控制各个要素对会计信息质量特征的影响,
点阵材料零件是由周期性的点阵桁架组成的,是具有三维有序多孔结构的零件。它的CAD模型的完整表述是增材制造过程中的基础性工作。为了改善点阵材料零件设计和增材制造中零件信息表述方面存在的设计意图丢失等问题,将点阵视为一种具有宏观等效材料属性的材料,从而将由单一材料构成、结构复杂的点阵材料零件转化为由多材料构成、结构相较简单的等效材料零件,从宏细观两个维度上描述点阵材料零件的几何/拓扑信息和材料信息,建