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本文用化学反应动的质量作用定律及阿累乌尼斯定律，对金属氧化半导体一些统计公式进行了研究。给出了费米函数、氧空位施主浓度的公式，表面吸附氧的氧原子氧离子浓度公式，并对有关问题进行了讨论。
质量作用定律在半导体统计中的应用
【摘 要】
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本文用化学反应动的质量作用定律及阿累乌尼斯定律，对金属氧化半导体一些统计公式进行了研究。给出了费米函数、氧空位施主浓度的公式，表面吸附氧的氧原子氧离子浓度公式，并对有
【机 构】
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山东工业大学数理系
【出 处】
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山东工业大学学报
【发表日期】
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1995年1期
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