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简述了非晶硅薄膜太阳能电池的基本原理和生产工艺,特别介绍了等离子化学气相沉积（PECVD）反应沉积室四种结构和特点,以及非晶硅薄膜电池生产设备的特点,以及未来发展方向.
非晶硅薄膜太阳能电池生产过程及关键设备介绍
【摘 要】
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简述了非晶硅薄膜太阳能电池的基本原理和生产工艺,特别介绍了等离子化学气相沉积（PECVD）反应沉积室四种结构和特点,以及非晶硅薄膜电池生产设备的特点,以及未来发展方向.
【机 构】
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南京高新技术产业开发区管理委员会
【出 处】
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科技风
【发表日期】
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2011年24期
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