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诺发系统有限公司日前正式推出VECTOR Express^TM新产品。VECTOR Express^TM是诺发公司300mm VECTOR等离子增强化学气相沉积（PECVD）平台的最新增强版本。VECTOR Express的工艺生产速度提高了40％，保持了业界领先的生产效率。此外，VECTORExpress还建立了薄膜工艺性能的新标杆，使该设备能够被延伸到45nm及以下工艺节点。