【摘 要】
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随着半导体芯片行业的迅速发展,对电子气体的要求也逐渐提高.半导体加工环境中的痕量水分会严重影响芯片的良率和可靠性.光腔衰荡光谱法是近年来发展的一种具有高灵敏度和准确性的痕量气体测量方法,线形强度是光谱法测量的重要参数.为测量痕量水分,建立了一套光腔衰荡光谱系统,测量了中心频率在7171.10491 cm-1和7177.6565 cm-1的吸收光谱,通过HTP(Hartmann-Tran profile)线形拟合得到线形强度,测量结果的相对标准不确定度优于1.8％,与HITRAN、HITEMP和GEISA数
【机 构】
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中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018;中国计量科学研究院热工计量科学研究所,北京100029;郑州计量先进技术研究院,河南郑州450001;郑州计量先进技术研究院,河南郑州450001;
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随着半导体芯片行业的迅速发展,对电子气体的要求也逐渐提高.半导体加工环境中的痕量水分会严重影响芯片的良率和可靠性.光腔衰荡光谱法是近年来发展的一种具有高灵敏度和准确性的痕量气体测量方法,线形强度是光谱法测量的重要参数.为测量痕量水分,建立了一套光腔衰荡光谱系统,测量了中心频率在7171.10491 cm-1和7177.6565 cm-1的吸收光谱,通过HTP(Hartmann-Tran profile)线形拟合得到线形强度,测量结果的相对标准不确定度优于1.8％,与HITRAN、HITEMP和GEISA数据库比较,相对偏差小于6％.
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针对三元锂电池加速寿命测试研究中加速效果不理想的问题建立了两种模型,一种是以环境温度为单一加速因子的基于阿伦尼乌茨模型的加速寿命模型;另一种是以环境温度-放电倍率耦合条件下基于电池寿命衰退经验模型的加速寿命模型.实验结果表明:以环境温度为单一加速因子条件下加速效果有限,相比于温度和放电倍率为25℃、1C正常条件下,50 ℃、1C条件下电池循环充放电次数平均缩短290次;50 ℃、3C双因子耦合条件下平均缩短510次;50℃、5C条件下平均缩短710次.温度-放电倍率耦合情况下相比于单一环境温度情况下,能够
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全球气候变化给人类生活带来的影响受到世界各国的普遍关注,温室气体是影响和改变全球气候的关键因素之一,限制和降低温室气体排放量成为人类发展的重要议题.温室气体大多都在10\"(每百万个气体分子中所含该种气体分子的个数)级别,且气体分子结构差异大,因此传统方法很难获得较高的精度,而光腔衰荡光谱法是能解决该难题的关键技术之一.对光腔衰荡光谱法测量温室气体痕量成分的研究进展进行了综述,分析了目前信噪比和灵敏度最高的方法——基于稳频的光腔衰荡光谱法的测量原理以及研究进展,并对其未来发展进行了展望.