【摘 要】
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本文对SAWD制造工艺中,铝膜的几种湿法腐蚀方法进行了比较分析,并着重阐述利用电偶效应原理实现铝膜腐蚀的机理及其过程,最后并具体介绍了一种已实际应用于SAWD的铝膜腐蚀系
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本文对SAWD制造工艺中,铝膜的几种湿法腐蚀方法进行了比较分析,并着重阐述利用电偶效应原理实现铝膜腐蚀的机理及其过程,最后并具体介绍了一种已实际应用于SAWD的铝膜腐蚀系统,对于基频150MHz,指条与间隙宽度约6μm的器件进行铝膜腐蚀时能得到比较满意的腐蚀质量。
In this paper, SAWD manufacturing process, the aluminum film several wet etching methods were compared and analyzed, and the mechanism of galvanic corrosion mechanism and process using the galvanic effect principle was emphatically described. Finally, a practical application of SAWD aluminum film corrosion system, for the fundamental frequency of 150MHz, finger and gap width of about 6μm device for aluminum film corrosion can get more satisfactory corrosion quality.
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