Properties of ITO:Zr films deposited by co-sputtering

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ITO : Zr 电影被与一个 ITO 目标和一个锆目标共同劈啪作响在玻璃底层上扔。底层温度和氧流动率在 ITO 的性质上有重要影响: Zr 电影。ITO : Zr 电影显示出更好水晶的结构和更低的表面粗糙。这些电影的更好光电的性质能在低底层温度被完成。某些氧流动率变得更坏电的性质但是能提高 ITO 的光性质: Zr 电影。在光乐队差距的变化能根据 Burstin 苔藓效果被解释。
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