双真空主动型氢脉泽真空系统设计

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhoucun7
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清洁、抽速稳定的高真空系统是氢脉泽工作必不可少的组成部分之一。文章详细介绍了双真空主动型氢脉泽真空系统的组成及各个组成部分的设计思路、方法。内容涉及真空的获得、真空泵的选择、氢脉泽物理部分双真空系统设计、流导及抽速的计算、泵体结构的设计和实验验证。实验发现,设计完毕的氢脉泽双真空系统保温效果较以前大幅改善,内外真空室本底流量为0.1 mA,工作流量值稳定在0.7mA时氢脉泽稳定输出-105 dBm信号,关闭流量后内真空抽真空本底时间约为8 min。表明内外真空室离子泵均达预期设计指标且工作正常。此外,该设计还进一步减小了脉泽体积、减轻了其重量,向氢脉泽小型化迈出了坚实一步。 Clean, pumping speed and stability of the high-vacuum system is one of the essential components of hydrogen maze work. The paper introduces the composition and the design ideas and methods of each component of the double vacuum active hydrogen vein vacuum system in detail. The contents include the acquisition of the vacuum, the choice of the vacuum pump, the design of the physical part of the hydromechanical double vacuum system, the calculation of the conductance and pumping speed, the design of the pump structure and the experimental verification. The experimental results show that the insulation effect of the designed double-vacuum system of hydrogen-oxygen maze is greatly improved compared with the previous one. The background flow rate of the internal and external vacuum chambers is 0.1 mA. When the working flow rate is stable at 0.7mA, the hydrogen pulse is stable and outputs -105 dBm signal. The time for vacuum evacuation in the background is about 8 min. Shows that the vacuum pump inside and outside the chamber have reached the expected design specifications and work properly. In addition, the design further reduces the volume of the maser and lightens its weight, taking a solid step towards the miniaturization of the hydrogen maser.
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