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拍摄高分辨电子显微像时未必总靠近Scherzer聚焦条件[1],且晶体有一定厚度,致使像未必反映晶体结构.对高分辨像进行解卷处理[2]是校正像中畸变的晶体结构信息并提高图像分辨率的有效方法.本文用高分辨像图像解卷处理方法[3]研究GaN材料中缺陷核心的原子配置.
GaN缺陷晶体高分辨电子显微像的解卷处理
【摘 要】
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拍摄高分辨电子显微像时未必总靠近Scherzer聚焦条件[1],且晶体有一定厚度,致使像未必反映晶体结构.对高分辨像进行解卷处理[2]是校正像中畸变的晶体结构信息并提高图像分辨
【机 构】
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中国科学院物理研究所
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2004年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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