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首先简要介绍了计量保证方案的基本实施过程,在此基础上提出了针对激光数字波面移相干涉仪的计量保证方案,内容包括核查标准和传递标准的设计,过程统计参数的建立,测量不确定度评定等三个方面.该方案的运行极大地增强了实验室对干涉仪性能状况的了解,提高了测试结果的可信度.
激光干涉仪的计量保证方案研究
【摘 要】
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首先简要介绍了计量保证方案的基本实施过程,在此基础上提出了针对激光数字波面移相干涉仪的计量保证方案,内容包括核查标准和传递标准的设计,过程统计参数的建立,测量不确定
【机 构】
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北京理工大学光电工程系
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2004年1期
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