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综述了金刚石膜抛光与平整技术,例如研磨、热化学抛光、离子束抛光、化学机械抛光、等离子抛光、激光抛光等方法的优点与不足,重点分析厚度较小(约几微米)的金刚石薄膜抛光与平整的可行途径.
金钢石膜表面抛光与平整技术进展
【摘 要】
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综述了金刚石膜抛光与平整技术,例如研磨、热化学抛光、离子束抛光、化学机械抛光、等离子抛光、激光抛光等方法的优点与不足,重点分析厚度较小(约几微米)的金刚石薄膜抛光与
【机 构】
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四川大学无机材料系
【出 处】
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现代技术陶瓷
【发表日期】
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2003年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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