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随着消费者对电子产品在功率和功能方面的要求日益严苛,半导体行业不断努力尝试在现有的集成电路(亦称芯片)上加入更多的功能。新一代芯片制造是采用氩氟(ArF)激光技术的光刻工艺。然而,由于在防护容器(光罩/掩模板)中尚未普遍使用达到“洁净”标准的塑料,导致ArF激光技术在IC制造工艺中的应用一再拖延。为攻克这一难关并满足客户需求,沙伯基础创新塑料的LNP。特种复合材料部开发了超纯透明(UPT)Stat—Loy^*63000CT系列复合材料。UPT Stat—Loy复合材料可用于晶圆防护设备,预防因释气所造成的