【摘 要】
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声体波谐振器（FBAR）压控振荡器（VCO）技术探讨了高品质因数Q谐振器并实现宽频率调谐难题，完成了声体波谐振器MBVD模型参数建立、电路的选择与布局，以及最优化的设计与制作，尽量消除了
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声体波谐振器（FBAR）压控振荡器（VCO）技术探讨了高品质因数Q谐振器并实现宽频率调谐难题，完成了声体波谐振器MBVD模型参数建立、电路的选择与布局，以及最优化的设计与制作，尽量消除了FBAR与IC之间的引线产生的影响，克服了频率调整问题。研制了中心频率2．1GHz的VCO振荡器，研究结果表明，其输出功率为5～10dBm，调谐范围为2．044‰，边带相噪为～143dBc／1Hz@1MHz。
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