【摘 要】
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本文将铕配合物Eu（DBM）3Phen掺杂在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）中作为有源材料，分别采用铝掩膜结合电感耦合等离子体（ICP）刻蚀、一步光刻法制备了脊型和倏逝场型两种掺铕聚合物光波导放大器。采用405 nm蓝紫光LED泵浦，在653 nm波长处分别实现了1.9和1.5 dB/cm的相对增益。对Eu（DBM）3Phen掺杂的PMMA薄膜的紫外吸收、荧光发射以及荧光寿命进行了测量表征。结果表明，
【机 构】
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厦门大学电子科学与技术学院(国家示范性微电子学院)
【基金项目】
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国家自然科学基金（61875170,61107023）； 国家重点研发计划（2021YFB2800500）； 厦门大学校长基金（20720150086）；
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本文将铕配合物Eu（DBM）3Phen掺杂在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）中作为有源材料，分别采用铝掩膜结合电感耦合等离子体（ICP）刻蚀、一步光刻法制备了脊型和倏逝场型两种掺铕聚合物光波导放大器。采用405 nm蓝紫光LED泵浦，在653 nm波长处分别实现了1.9和1.5 dB/cm的相对增益。对Eu（DBM）3Phen掺杂的PMMA薄膜的紫外吸收、荧光发射以及荧光寿命进行了测量表征。结果表明，有机配体的分子内能量传递作用可以实现LED泵浦下的稀土铕离子由~5D0能级到~7F3能级的跃迁。
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