Effect of annealing temperature on interfacial and electrical performance of Au-Pt-Ti/HfAlO/InAlAs m

来源 :中国物理B:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：diaolan

【摘要】

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HfAlO/InAlAs metal-oxide-semiconductor capacitor (MOS capacitor) is considered as the most popular candidate of the isolated gate of InAs/AlSb high electron mob

【作者】

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关赫姜成语王少熙

【机构】

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NorthwesternPolytechnicalUniversity

【出处】

：

中国物理B:英文版

【发表日期】

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2020年9期

【关键词】

：

HfAlO/InAlAs MOS-capacitor annealing temperature interface leakage current

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HfAlO/InAlAs metal-oxide-semiconductor capacitor (MOS capacitor) is considered as the most popular candidate of the isolated gate of InAs/AlSb high electron mobility transistor (HEMT). In order to improve the performance of the HfAlO/InAlAs MOS-capacitor,

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