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文章综述了硅切割用电镀金刚石线锯的构造和特点，以及制备工艺过程，并对其应用情况进行了简要介绍，对目前存在的问题进行初步的探讨，并就未来的发展趋势进行了展望。
硅切割用电镀金刚石线锯的研究现状
【摘 要】
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文章综述了硅切割用电镀金刚石线锯的构造和特点，以及制备工艺过程，并对其应用情况进行了简要介绍，对目前存在的问题进行初步的探讨，并就未来的发展趋势进行了展望。
【机 构】
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国家特种矿物材料工程技术研究中心
【出 处】
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超硬材料工程
【发表日期】
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2012年3期
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