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基于光栅刻划机驱动机构（宏动--摩擦驱动、微动--压电陶瓷）建立驱动模型和动力学模型即二阶弹簧阻尼系统动力模型,通过对宏动部分与微动部分的位移输入,模拟其最终刻划刀具位移量,通过应用Matlab中Simulink部分对涉及的计算表达式进行求解,绘制刀具定位的相应仿真曲线。得到理论摩擦驱动和压电陶瓷组合（以下叫实验组合）位移曲线与常规组合（如滚珠丝杠、齿轮齿条等）运行曲线。得出实验组合位移规律性强、控制方便、能够达到设计的精度要求。