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在已有的负电子亲和势(NEA)光电阴极特性评估技术的基础上,研制了三代微光器件的测试和评估系统工程样机,用于对三代微光器件的光谱响应等参数的测试和激活过程中的工艺信息监控,通过分析计算可获得三代微光器件光电阴极的表面逸出几率、载流子扩散长度和后界面复合速率等参数.利用该系统对三代微光像增强器进行了测试和评估,文中给出了测试结果并加以分析.