多晶硅表面微机械光学角速率传感器

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cntt_nj

【摘要】

：

多晶硅表面微机械技术是微机电系统（ＭｉｃｒｏｅｌｅｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ，ＭＥＭＳ）中重要的加工技术。本文采用这种加工技术，提出了一种基于Ｓａｇｎａｃ效应的新型微机械学光角速率传感器（ＯｐｔｉｃａｌＲｏｔａｔｉｏｎＳｅｎｓｏｒ，（ＯＲＳ）。由于采用ＭＥＭＳ的最新技术，安将是一种低成本、

【作者】

：

郑露滴

【机构】

：

清华大学精密仪器与机械学系!北京市100084

【出处】

：

仪表技术与传感器

【发表日期】

：

2000年3期

【关键词】

：

角速率传感器微机电系统 ORS MEMS Polysilicon Surface Micromachining Optical Rotation Sensor

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