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期刊论文
电子束制版中的干法刻蚀技术
电子束制版中的干法刻蚀技术
来源 :山东工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:khalista6
【摘 要】
:
介绍一种新型的半导体刻蚀方法,这种干法刻蚀采用电子束微细加工进行试验和研究,从而体现出它的优越性和发展前景。
【作 者】
:
李昭俊
成荣
【机 构】
:
山东工业大学自动化工程系
【出 处】
:
山东工业大学学报
【发表日期】
:
1998年3期
【关键词】
:
电子束
制版
半导体
干法刻蚀
等离子刻蚀
Electricity bind
Plate making cut
Blocks for printing
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介绍一种新型的半导体刻蚀方法,这种干法刻蚀采用电子束微细加工进行试验和研究,从而体现出它的优越性和发展前景。
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