降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法

来源 :吉林大学学报：信息科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tianshu888

【摘要】

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利用机械和电学特性,推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系,指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比,随上下电极之间距离的减小而降低.提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,该

【作者】

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董玮阮圣平张歆冬刘彩霞张龙陈维友

【机构】

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吉林大学

【出处】

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吉林大学学报：信息科学版

【发表日期】

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2003年1期

【关键词】

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微机械光开关驱动电压静电驱动扭臂结构阈值电压化学腐蚀光通信 Micromechanical Optical switches Electrosta

【基金项目】

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国家自然科学基金，吉林省科技发展计划，国家高技术研究发展计划(863计划)

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利用机械和电学特性,推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系,指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比,随上下电极之间距离的减小而降低.提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,该结构可以通过具有倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀得到.理论分析表明,倾斜下电极结构可以使阈值电压从60 V降低到32 V.

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