轮胎压力传感器的设计与研制

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美国的NHTSA已出台的TREAD法规引起新一轮汽车压力传感器应用高潮和TPMS产品的开发热潮。为了该产品的国产品种开发设计,我们研制出了一种轮胎压力传感器芯片,它是采用基于MEMS技术的硅体微机械加工技术制造的。采用硅一硅真空键合大大缩小单元尺寸,有利于降低成本。已研制成功的用这一芯片制造的压力传感器性能已达到了实用化要求。
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