论文部分内容阅读
显影工艺是光刻技术中重要的步骤,本文介绍了一种基于12inch硅衬底晶圆显影工艺减少显影液用量的方法,结合实验系统考察了工艺配方中转速、显影时间、显影方式等因素对结果的影响,最终得到了适宜的显影工艺.
基于单片显影机显影液用量优化的研究
【摘 要】
：
显影工艺是光刻技术中重要的步骤,本文介绍了一种基于12inch硅衬底晶圆显影工艺减少显影液用量的方法,结合实验系统考察了工艺配方中转速、显影时间、显影方式等因素对结果的
【机 构】
：
沈阳芯源微电子设备股份有限公司,辽宁 沈阳 110000;沈阳芯源微电子设备股份有限公司,辽宁 沈阳 110000;沈阳芯源微电子设备股份有限公司,辽宁 沈阳 110000;沈阳芯源微电子设备股份有限
【出 处】
：
丝路视野
【发表日期】
：
2020年36期
其他文献
在冶金的反应过程中,会产生相应的废水、废液和废渣,在这些废水、废液和废渣中,存在一定量的有价金属,可以通过对这些有价金属进行回收利用,达到节约资源的目的.本文系统分析
为加强对扩招学生的关注,在教学组织的过程中开展了对文化水平相对较低的扩招专科学生基本情况全面调查,目的在于深入了解他们的学习情况、生活情况,查找存在的问题,为高职院
10kV配电网是电网系统的重要组成部分,项目的质量直接关系到供电公司能否为用户提供安全可靠的电力.施工质量将直接影响人们的用电质量,并且由于是我国电力供应的重要组成部
高中数学是继九年义务教育后数学教育的较高阶段,难度明显提升.在现阶段,高中数学教育正在按照新课程改革的要求进行不断的研究和改革.微课作为一种新型教学工具,对激发学生
为了进一步深入贯彻新《纲要》精神,我园于2019年12月起开展幼儿园活动整合课程的课题研究,以“多元智能”理论为理论基础,以“活动”“整合”为课程的主要建构形式.遵循“通
本文叙述了一套KDON4500/1800空分及一台VPSA2000变压吸附制氧机在保证设备运转正常,产品产量、氧气纯度达标的情况下,通过将普通分子筛更换成高效分子效等一系列节能措施的
水体有机污染的存在是当前建设环境友好型社会面临的重要问题,为了合理且可持续地利用有限淡水资源,对水体有机污染物进行系统分析具有重要意义,本文简述了水体有机污染物的
本文先对课程思政的概念和意义做了解释,说明在英语阅读课堂教学中实施课程思政的方法,最后回归到教育的终极目标是要立德树人.对课程思政的研究历来是仁者见仁、智者见智,本
作为电厂重要设备,汽轮机的应用会对电厂生产质量以及生产成本等产生直接影响.为响应节能增效号召,确保设备运行能耗可以被控制在合理范围之内,电厂加大了对汽轮机节能降耗策
近年来,我国不断加强素质教育和课程教学改革的力度.而高校思政课教学对于培养学生思想政治素养起着至关重要的作用.在课程思政的大背景下,高校思政课也面临着诸多挑战,改革