论文部分内容阅读
分析研究了半导体硅片CMP后表面污染机理和清洗的基本理论,综述了CMP后半导体硅片溶液清洗技术的研究进展与现状,并对其发展方向进行了展望。
半导体硅片CMP后溶液清洗技术的研究进展
【摘 要】
：
分析研究了半导体硅片CMP后表面污染机理和清洗的基本理论,综述了CMP后半导体硅片溶液清洗技术的研究进展与现状,并对其发展方向进行了展望。
【机 构】
：
河南省化工研究所有限责任公司
【出 处】
：
清洗世界
【发表日期】
：
2018年05期
其他文献
目的探讨下消化道隆起性病变的原因。方法利用结肠镜检查对226例下消化道隆起性病变的病因作回顾性分析。结果下消化道隆起性病变常见原因为息肉108例，脂肪瘤26例，平滑肌瘤12例
目的评价阿达帕林凝胶联合一清胶囊治疗轻中度寻常痤疮的疗效和安全性。方法将119例轻、中度寻常痤疮患者随机分为两组。联合治疗组外用阿达帕林凝胶,同时口服一清胶囊;对照
现阶段,随着社会经济的不断发展,农业科学技术水平不断提高,传统的农业生产模式已经不适用于当前的农业发展要求,加强农机推广是未来农业发展的重要方向,可以大大提高农业生
在民用航空领域,中国的导航方式主要依赖地面导航基站,主要由全向信标设备和测距仪设备组成。该设备技术原理复杂,设计工艺要求高,目前国内还无厂家可以制造出来,主要来源依
建筑工程施工技术管理在现阶段面临更高要求，相应管理工作不仅仅需要确保各项施工技术规范有序执行，往往还需要重点把握好经济层面要求，以更好保障企业经济效益。本文站在企业经
螺纹特征广泛应用与各类机加零件中,尤其在航空制造领域应用更为广泛,而螺纹在车削加工过程中会形成毛刺,不利于产品的密封性能和配合性能。基于对比分析典型螺纹毛刺去除方
目的评价经纤维支气管镜（纤支镜）肺灌洗治疗急性肺脓肿的临床疗效及安全性。方法选择符合标准的46例急性肺脓肿患者,分为常规治疗组（A组,n=24）和灌洗组（B组,n=22）,灌洗治疗组在常规
建筑工程项目中混凝土材料的应用较为常见,但是如果在冬季利用混凝土施工技术,则往往面临着较大难度,因为冬季混凝土容易面临冰冻威胁,最终施工质量受损明显,需要采取相对应
本文针对陆基导航系统的特点,以VOR/DME 和 DME/DME 系统为背景,研究基于导航容差和导航信号覆盖的航路导航性能分析方法,为 RNAV 中导航台布局优化提供一定的理论基础。