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高精度低漂移高压电源的研制李本功１引言在大规模集成电路中，由于对分辨率和图形相对位置精度要求越来越高，普通的光刻装置由于光的衍射效应的限制已显得无能为力，而迅速掘起的电子束刻划装置却能轻而易举的满足这些要求。但电子束刻划装置的长期稳定性和每次扫描的重...
高精度低漂移高压电源的研制
【摘 要】
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高精度低漂移高压电源的研制李本功１引言在大规模集成电路中，由于对分辨率和图形相对位置精度要求越来越高，普通的光刻装置由于光的衍射效应的限制已显得无能为力，而迅速掘起的电
【出 处】
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山东电子
【发表日期】
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1994年4期
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