【摘 要】
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研制了一种针对半导体器件的温度控制系统,不仅可用于对内置热电制冷器的半导体器件的温度控制,同时实现了在宽环境温度范围内对无热电制冷器及热敏电阻的半导体器件的温度控
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区
【基金项目】
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国家重点研发计划(No.2016YFD0700101);国家自然科学基金(Nos.61775079,61627823);吉林省科技发展计划项目(No.20180201046GX);吉林省省级产业创新专项资金项目(No.2017C027)~~
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研制了一种针对半导体器件的温度控制系统,不仅可用于对内置热电制冷器的半导体器件的温度控制,同时实现了在宽环境温度范围内对无热电制冷器及热敏电阻的半导体器件的温度控制.系统硬件主要由两部分组成,第一部分包括主控制器模块、温度采集模块和热电制冷器电流控制模块,实现对内置热电制冷器的半导体器件的温度控制;第二部分包括辅控制器模块、温度采集模块、金属氧化物场效应管开关电路模块及附加四级热电制冷器,实现对无热电制冷器的半导体器件的温度控制.软件部分,主辅控制器分别实时采集半导体器件的工作温度,采用积分限幅式数字比例
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