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基于冲击片雷管金属桥箔电爆炸技术机理,设计了一种微爆炸箔平面放电开关。采用改进制造工艺代替湿法刻蚀工艺,制备了单桥和三桥串联的微爆炸平面开关,对不同桥区尺寸的微爆炸平面开关进行耐压试验;此外,采用3种方式对开关进行绝缘处理,通过耐压试验研究绝缘处理中胶层厚度、绝缘方式对绝缘效果的影响。研究表明:单桥区开关耐压性能优于三桥区串联开关;触发开关桥区尺寸越大,耐压性能越低;平面开关在空气中的耐压值与开关间隙近似呈正比关系;采用PI材料CVD技术绝缘处理的开关绝缘性能最佳。