【摘 要】
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为了实现高灵敏度的双参量传感，设计了一种对称的全介电超表面结构。在超表面上涂覆气敏薄膜后，会产生标记为dip 1和dip 2的两个Fano共振峰，可用于同时测量折射率和气体体积分数。计算结果表明，dip 1的折射率灵敏度和气体体积分数灵敏度分别为1035 nm/RIU和-0.57 nm/%，dip 2的折射率灵敏度和气体体积分数灵敏度分别为543.6 nm/RIU和-0.87 nm/%。该传感器可
【机 构】
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中国矿业大学教育部地下空间智能控制工程研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金（51874301）； 徐州市重点研发计划（KC20162）；
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为了实现高灵敏度的双参量传感，设计了一种对称的全介电超表面结构。在超表面上涂覆气敏薄膜后，会产生标记为dip 1和dip 2的两个Fano共振峰，可用于同时测量折射率和气体体积分数。计算结果表明，dip 1的折射率灵敏度和气体体积分数灵敏度分别为1035 nm/RIU和-0.57 nm/%，dip 2的折射率灵敏度和气体体积分数灵敏度分别为543.6 nm/RIU和-0.87 nm/%。该传感器可用于双参量的高灵敏度测量，且这种对称结构得到的透射谱不受光源偏振角度的影响，提高了传感器对光源的适应性，为环境空间的检测提供了一种新方法。
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