【摘 要】
：
采用热丝化学气相沉积（HWCVD）和射频等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）相结合的技术,在普通载玻片和聚酰亚胺衬底上沉积制备微晶硅薄膜。系统考查了热丝到衬底的距离对沉积薄膜结构
【机 构】
：
大连理工大学材料学院三束材料改性教育部重点实验室,兰州物理研究所表面工程国家重点实验室
论文部分内容阅读
采用热丝化学气相沉积（HWCVD）和射频等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）相结合的技术,在普通载玻片和聚酰亚胺衬底上沉积制备微晶硅薄膜。系统考查了热丝到衬底的距离对沉积薄膜结构和性能的影响规律,用拉曼光谱仪、X-射线衍射仪（XRD）、紫外可见光纤光谱仪对薄膜的晶化率、微观结构和光学性能进行研究。结果表明：薄膜沉积速率最高可达到0.73nm/s,晶化率和禁带宽度分别可以在0%～78%和0.86～1.28eV变化,射频等离子体的引入有助于多晶硅薄膜的（220）择优生长,HWCVD的引入有助于薄膜晶化。
其他文献
【正】 "给我一个支点,我就能撬动地球!"阿基米德曾经这样说。"给自己一个支点,超越自己!"这是古田县第一小学开展的"学生个体内差异评价策略研究"课题的目标指向。若将这两
板蓝根为我国传统中药,在临床上常用于病毒性疾病及细菌感染疾病,尤其在抗病毒方面疗效确切。了解板蓝根的药效,并对原料进行采集粉碎后,采用去离子水及95%的乙醇溶液对板蓝
目的分析康复新液联合泮托拉唑用于消化性溃疡治疗的优越性。方法 40例消化性溃疡患者,随机分为治疗组和对照组,每组20例。对照组采用泮托拉唑治疗,治疗组联合泮托拉唑与康复
近年来,我国非营利组织发展迅速,它们在很多方面如救灾、社会救助等都发挥着很大的作用.非营利组织作为一种制度创新的产物,具有不可估量的发展潜力,但如何把非营利组织的潜
小麦粉质加水量的控制是制约粉质试验成败的关键。试验发现,参照近红外谷物分析仪面粉模块中的吸水量,可大幅提高粉质试验一次加水成功率,大幅提高试验效率。
在搜索引擎中输入“绘本选择”四个字，会出现很多条目：“如何为孩子挑选绘本？”“如何帮助孩子选择优秀（合适）的绘本？”“如何给不同年龄段的孩子选择绘本？”……类似的提问很多，这也
目的:观察大果山楂总黄酮对实验性酒精肝损伤的保护作用.方法:通过建立大鼠酒精性肝损伤模型,检测肝组织病理学改变和TC、TG、ALT、AST、SOD、MDA含量,以研究大果山楂总黄酮
随着跨国交流的日益频繁,语言间的转换成了必然要经历的过程。汉译英逐渐为语言学家和翻译家所关注。东西方思维方式的不同决定了汉语和英语的本质区别,汉语重意合,英语重形
<正>长春西站是哈尔滨-大连铁路客运专线上的重要枢纽,建筑规模为6万平方米(不含站台雨棚)。共有东北建筑设计院、铁道第三设计院、中建国际
介绍了陶瓷配料控制系统的控制原理以及基于AVR单片机的电子秤硬件设计。针对配料系统中干扰多,传统PID控制精度不高、稳定性较差的不足,提出基于卡尔曼滤波的PID控制器设计