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获取高精度断层面形貌对微观断层面形貌与地震成核、破裂扩展及终止的相关性研究具有重要意义。为了提高断层面形貌的测量精度、克服现有测量方法的不足,我们研发了一套具有自主知识产权的μm级形貌测量系统。经过测试,该新型μm级形貌测量系统具有以下特征:1)其平面定位(x轴与y轴方向)精度优于3. 5μm,垂向测量精度优于4. 5μm,水平分辨率可达0. 62μm,垂向分辨率为0. 25μm; 2)该系统在垂向发射激光束,可测量形貌面中大倾角的凹谷区域,避免产生数据空白,可获得完整的形貌测量结果,具有较强的陡峭