【摘 要】
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以建设一条“硅工艺教学生产线”为目标,中山大学建立了半导体工艺实验室。详细介绍了实验室的建设现状,包括分区设置和仪器配备,结合微电子专业特点,开设了有关课程。从三方
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以建设一条“硅工艺教学生产线”为目标,中山大学建立了半导体工艺实验室。详细介绍了实验室的建设现状,包括分区设置和仪器配备,结合微电子专业特点,开设了有关课程。从三方面详细阐述了该实验室的建设和管理实践,分别是：建设规范化实验室、建设安全实验室和建设绿色实验室,有利于实验教学工作顺利、有效和安全地进行。最后,提出三个需要解决的问题,包括师资队伍的建设、实验室建设工作计划的完善和开放实验室制度的建立。该实验室的建设,完善了微电子专业的实验教学,有利于提高学生的实践能力和创新能力。
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